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立式退火爐
所屬系列：半導(dǎo)體材料專用設(shè)備
該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體硅晶片的退火、具有控溫精度高、溫度場均衡、升降溫速率快、可靠性高等特點(diǎn)，是制作半導(dǎo)體硅晶片材料的必備工藝設(shè)備

技術(shù)參數(shù)

1、最高設(shè)計(jì)溫度：1800℃
2、常用溫度：1700℃
3、供電電源：AC380V±10％,3相4線, 50Hz
4、加熱元件：硅鉬棒
5、適用燒結(jié)氣氛：氮?dú)?、一氧化碳、氬?/div>

產(chǎn)品展示

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