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臥式真空爐
所屬系列：半導(dǎo)體材料專(zhuān)用設(shè)備
該設(shè)備主要用于藍(lán)寶石襯底材料的退火，也適用于各種新材料的退火；具有控溫精度高、產(chǎn)品一致性好、運(yùn)行平穩(wěn)、可靠性高等特點(diǎn)，是藍(lán)寶石襯底材料及各種新材料的必備工藝設(shè)備

技術(shù)參數(shù)

1、設(shè)計(jì)溫度：1800℃
2、最大爐膛尺寸：2000mm×600mm×400mm
3、供電電源：AC380V±10％,3相4線(xiàn), 50Hz
4、加熱元件：硅碳棒或硅鉬棒
5、適用燒結(jié)氣氛：氮?dú)?、氬氣、一氧化碳、氫氣、氧?/div>

產(chǎn)品展示

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